소재부품기술사업 및 기계산업핵심기술개발사업 2건 국책과제 선정
반도체소재부품기업 엘오티베큠(대표 오흥식)은 2020년 신규 국책과제에 선정되었다.
반도체공정용 진공펌프 및 디스플레이 반도체 공정장비용 초고진공 터보분자펌프 개발 2건이다.
소재부품기술사업으로 반도체 공정용 진공펌프 개발에 총사업비 161억 규모이다. 정부출연금은 약 100억원이다.
CVD공정용 드라이펌프 및 불소계 부식성 공정가스에 대한 내부식성이 향상된 저소비전력, 소형 ETCH공정용 드라이펌프 개발을 목표로 하고있다. 개발이 완료되면 공정 부산물 이송 능력이 향상된다. 10% 이상 운전 소비 전력이 저감된다.
기계산업 핵심기술개발사업으로 디스플레이 반도체 공정장비용 1.3E-8mbar이하 초고진공 터보분자펌프 기술개발에 총 사업비 약90.2억 규모로 정부출연금은 60억원이다.
오홍식 대표는 "반도체 및 디스플레이 공정장비에 필요한 1E-8mbar 이하의 고진공을 만들기 위해 다단의 블레이드 로터를 자기부상 베어링을 활용한다. 고속 회전 시켜 기체 분자를 배기하는 디지털 제어 방식의 터보분자펌프의 상품화 기술 개발을 목표로 하고 있다"고 말했다.
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